关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司发行股份购买资产并募集配套资金注册的批复

中微半导体设备（上海）股份有限公司：

中国证券监督管理委员会收到上海证券交易所报送的关于你公司发行股份购买资产并募集配套资金方案的审核意见及你公司注册申请文件。根据《中华人民共和国证券法》《中华人民共和国公司法》《国务院办公厅关于贯彻实施修订后的证券法有关工作的通知》（国办发〔2020〕5号）、《上市公司重大资产重组管理办法》（证监会令第230号）等有关规定，经审阅上海证券交易所审核意见及你公司注册申请文件，现批复如下：

一、同意你公司向浙江台州金石精密制造股权投资基金合伙企业（有限合伙）发行863,679股股份、向杭州众芯硅工贸有限公司发行626,698股股份、向扬州朗智股权投资合伙企业（有限合伙）发行526,138股股份、向上海国孚领航投资合伙企业（有限合伙）发行526,109股股份、向杭州富浙资通股权投资合伙企业（有限合伙）发行507,071股股份、向浙江富浙富创股权投资合伙企业（有限合伙）发行507,071股股份、向深圳市达晨创程私募股权投资基金企业（有限合伙）发行415,845股股份、向杭州达晨创程股权投资基金合伙企业（有限合伙）发行249,507股股份、向安徽省丰禾股权投资基金一期合伙企业（有限合伙）发行239,101股股份、向宁波蓝郡风鋆创业投资合伙企业（有限合伙）发行202,868股股份、向青岛东证中新仁合私募股权投资基金合伙企业（有限合伙）发行143,415股股份、向井冈山小满股权投资合伙企业（有限合伙）发行123,674股股份、向上海宁容海川电子科技合伙企业（有限合伙）发行121,652股股份、向长兴青鸟中芯股权投资合伙企业（有限合伙）发行119,698股股份、向江苏高投毅达中小贰号创业投资合伙企业（有限合伙）发行119,550股股份、向宁波领芯企业管理咨询合伙企业（有限合伙）发行109,369股股份、向王敏文发行108,520股股份、向张久海发行107,979股股份、向朗玛六十三号（深圳）创业投资中心（有限合伙）发行102,566股股份、向广东温润振信贰号股权投资合伙企业（有限合伙）发行100,106股股份、向杭州北峰芯辰股权投资合伙企业（有限合伙）发行98,224股股份、向中信证券投资有限公司发行95,822股股份、向余姚石溪舜创创业投资合伙企业（有限合伙）发行95,640股股份、向江苏中小企业发展基金（有限合伙）发行77,925股股份、向无锡高投毅达鼎祺人才创业投资合伙企业（有限合伙）发行77,137股股份、向朗玛五十九号（深圳）创业投资中心（有限合伙）发行76,925股股份、向朗玛六十号（深圳）创业投资中心（有限合伙）发行76,925股股份、向杭州临安众芯硅企业管理合伙企业（有限合伙）发行71,682股股份、向朱力昂发行71,080股股份、向蔡刚波发行69,763股股份、向江苏疌泉君海荣芯投资合伙企业（有限合伙）发行65,989股股份、向杭州临安众硅管理咨询合伙企业（有限合伙）发行62,034股股份、向嘉兴邦拓股权投资合伙企业（有限合伙）发行51,425股股份、向深圳市达晨财智创业投资管理有限公司发行47,525股股份、向无锡高投毅达太湖人才成长创业投资合伙企业（有限合伙）发行38,962股股份、向宁波毅达工投股权投资基金合伙企业（有限合伙）发行38,962股股份、向杭州芯匠企业管理合伙企业（有限合伙）发行37,988股股份、向杰正投资集团有限公司发行27,062股股份、向杭州众诚芯企业管理合伙企业（有限合伙）发行18,571股股份、向朱琳发行6,476股股份、向温润安享科盈（海南）股权投资基金合伙企业（有限合伙）发行1,267股股份购买相关资产的注册申请。

二、同意你公司发行股份募集配套资金不超过15亿元的注册申请。

三、你公司本次发行股份购买资产并募集配套资金应当严格按照报送上海证券交易所的有关申请文件进行。

四、你公司应当按照有关规定及时履行信息披露义务。

五、你公司应当按照有关规定办理本次发行股份的相关手续。

六、本批复自下发之日起12个月内有效。

七、你公司在实施过程中，如发生法律、法规要求披露的重大事项或遇重大问题，应当及时报告上海证券交易所并按有关规定处理。

中国证监会

2026年5月11日